Ю. А. Новиков, П. А. Тодуа - N8, 2005, ПГУ им. С. Торайгырова Мир измерений Метрология линейных измерений нанометрового диапазона - основа микроэлектроники и нанотехнологии:Мир измерений // Мир измерений, - N8, 2005 1. Метрология Заказать электронный вариант |